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晶圆抛光机厂家
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硅片减薄机的发展及技术演变

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发布时间 : 2023-11-04 14:45:33

硅片减薄机的发展历程经历了由旋转台减薄(采用CREEP-Feed技术)到硅片自旋转减薄(采用IN-Feed技术)的阶段。旋转台减薄存在受力不均导致的硅片翘曲等问题,而硅片自旋转减薄较好地避免了这些问题。


减薄工艺的技术难点在于硅片减薄至一定程度后容易翘曲、碎片。然而,随着技术的不断发展,硅片减薄机的性能也在不断提升。目前,硅片减薄机的精度已经能够达到几个微米。

硅片减薄机

此外,随着Chiplet(将不同功能的裸芯片采用先进封装技术集成为单芯片)与3D封装技术的不断发展,芯片组厚度的增加有望催生前道环节对减薄机的需求。自动化与集成化(减薄抛光一体机等)也被认为是减薄机的未来技术发展方向,自动化与集成化能够降低成本、提升效率,同时自动化还可以避免减薄过程中发生崩盘、损坏等现象。


硅片减薄机的应用范围非常广泛,不仅在半导体制造领域有重要应用,还在太阳能电池板、传感器、激光器等领域的制造过程中发挥重要作用。在这些应用中,硅片减薄机都能够提供高质量、高精度的硅片,为产品的性能和品质提供有力保障。

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