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晶圆抛光机厂家
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硅片倒角机的应用

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发布时间 : 2023-12-22 10:20:48

硅片倒角机是一种广泛应用于半导体硅片切割领域的专业设备,其作用是将硅片的四角进行倒角处理,防止硅片边缘损伤和划痕,提高硅片的利用率和质量。


具体来说,硅片倒角机的主要应用包括以下几个方面:


1、消除边缘锋利边缘和棱角:硅片倒角可以消除硅片边缘的锋利边缘和棱角,降低应力集中和位错,从而减少硅片的机械损伤和开裂风险。


2、减少机械应力和位错:通过硅片倒角,能确保晶圆边缘的平滑和光滑,以减少机械应力和位错,降低沾污物的聚集和颗粒脱落。

硅片倒角机

3、增加外延层和光刻胶层在晶圆边缘的平坦度:硅片倒角还可以增加外延层和光刻胶层在晶圆边缘的平坦度,有利于后续加工和处理。


4、提高光伏组件功率:在光伏行业中,使用特定形状的倒角,可以提高光伏组件的功率。例如,使用15875mm全方单晶电池的光伏组件,通过使用特定形状的倒角,可以提高组件功率。


总之,硅片倒角机在半导体硅片切割领域中具有重要的作用,不仅可以提高硅片的利用率和质量,还可以降低机械损伤和开裂风险,增加外延层和光刻胶层在晶圆边缘的平坦度,提高光伏组件功率等。

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