1. 触摸式显示屏
触摸式操作，同步显示加工状况和设备状态
2. 料盒
存放晶圆等工件
3. 厚度测量仪
在线实时厚度测量
4. 机械手
负责晶圆在测厚仪、圆心定位仪和料盒之间的搬运
5. 圆心定位仪
精确定位圆心，控制倒角角度
6. 搬运臂
负责晶圆在圆心定位仪、工作台和清洗甩干组件之间的搬运
7. 工作台
主轴研磨、Notch轴研磨两道工序，双工位
8. 清洗甩干组件
将晶圆残留的二流体和污迹清洗干净、甩干水分
